汉芯大学
首先,我们来看一个真实的故事。陈进于1991毕业于同济大学,并于1997获得德克萨斯大学奥斯汀分校计算机工程硕士和博士学位。然后他来到IBM和摩托罗拉,担任高级首席工程师和芯片设计经理。2001年,陈进辞职回国,出任上海交通大学芯片与系统研究中心主任,开始领导中国第一颗芯片汉芯一号的研发工作。本来预计研发会持续很长时间,因为毕竟我们和西方的技术差距很大。然而,仅仅两年后的2月,陈进在上海召开新闻发布会,宣布汉芯一号研发成功。
而且他还声称自己采用了国际先进的0.18微米半导体工艺设计,在一个只有半个指甲大小的集成块上有250万个器件,还拥有一个32位运算处理核心,每秒可以进行2亿次运算。后来经过“863计划”集成电路专项组几位院士组成的鉴定专家组鉴定,陈进手中的芯片确实达到了他所说的效果。这个消息震惊了全国,因为这意味着中国不仅突破了技术封锁,甚至超越了西方。
因此,陈进一夜之间被授予各种荣誉和称号。如上海市科委授予他上海市科技创业领军人物、长江学者称号,上海交通大学微电子学院院长、上海硅知识产权交易中心CEO等。可以说,此时此刻,陈进寄托着全国人民的期望。
然而,2006年6月5438+10月65438+7月,清华大学bbs论坛上出现了一个神秘的帖子,声称陈进的汉芯一号是伪造的,随后媒体根据举报人提供的线索很快查明了真相。原来,陈进的芯片根本不是自己研发的,而是委托他在美国的弟弟从Motomora公司购买的。至于芯片上的logo,他雇了民工用砂纸打磨掉,换上新的。
事情越闹越大,2006年6月28日,科技部、教育部和上海市政府成立了专家调查组,并开始工作。经过两个月的调查,宣布陈进诈骗事件属实。到目前为止,中国自研芯片损失惨重,但也反映出芯片制造的高难度,甚至让专业人士无可奈何,最终走上了造假的道路。
先简单说一下芯片制造的难点在哪里。首先,只要提到芯片,就不得不提到荷兰的Asmel公司。该公司是世界上最大的芯片设计和设备制造商。华为知名手机使用的海思麒麟芯片是华为从Asmel公司买来架构后重新设计改进的,而用来制造芯片的设备就是大家熟知的光刻机。
我们今天要讲的是最先进的极紫外光刻机,叫做EUV光刻机,而当今世界上唯一能制造它的公司是Asmel,市场占有率100%,也就是说,没有竞争对手和垄断经营,造成这种局面的原因是很多技术难以集成,很多零部件的生产要求很高。
以EUV光刻机为例,零部件多达10万个,包括镜头系统、光源等。根据本表中列出的主要零部件供应商,我们可以看到它们都是该领域的领导者。例如,生产反光镜片的德国公司蔡司要求EUV光刻机生产的镜片误差值非常小。到什么程度?如果镜头和地球一样大,那么允许误差就是落在镜头上的两根头发。除此之外,它反射的极紫外光是一种很容易被其他物质吸收的光源,即使是空气也很容易吸收,极紫外光每折射一次都会减弱30%,使得镜片具有极高的透光率以减少光线的减弱。但就是这样一个镜片,需要手工打磨。
镜头之后,让我们看看EUV光刻机的极紫外光源。从这张图我们可以看到,EUV光刻机作为第五代光刻机,已经大大超越了前四代,尤其是波长从193下调到了13.5,波长越短,光散射越小,这意味着EUV光刻机可以实现更小工艺芯片的生产。为此,他们发明了一种每秒钟被光轰击5万次的液态金属,从而成功产生了极紫外光。过程就是你目前看到的画面。如果非要举个例子的话,你得用针在一秒钟内把从空中掉下来的一粒米戳五万个洞。
看了这两个例子,相信你对光刻机的制作难度有所了解了。但俗话说得好,事在人为。除了技术上的困难,中国芯片技术的落后是西方的封锁。就Asmel公司来说,股东都是英特尔三星等企业,背后的资本也是美资。因此,当美国对华为发布禁令时,Asmel公司不得不停止供货,甚至使用其技术的公司也一起采取了行动,如台积电等企业。
但是不要失望。事实上,早在2006年,我国就发布了《国家中长期科学和技术发展规划纲要》,明确了核心电子器件、高端通用芯片和基础软件、超大规模集成电路制造技术及成套技术、新一代宽带无线移动通信、高端数控机床及基础制造技术、大型油气田和煤层气开发、大型先进压水堆和高温气冷堆核电站水污染控制与治理。转基因生物新品种培育、重大新药创制、艾滋病、病毒性肝炎等重大传染病防治、高分辨率对地观测系统载人航天、探月工程等重大专项16项,芯片制造加工相关技术被放在第一、第二位。
如果我们现在再看这个时间表,可以发现很多计划已经成功实现,比如大飞机20人太空飞行,探月工程。在芯片方面,中科院牵头,与SMIC、上海微电子所、哈尔滨工业大学长春光机所联合攻关,先后突破了光源控制系统等技术。虽然差距还是很大,但是我相信在国家和科学家的共同努力下,我们还是可以让世界刮目相看的,就像当年我们研制两弹一星的时候一样!